Pentax MMZ - 3030 大行程自动工具显微镜
待议
测量行程
300×300×150毫米
外型尺寸
680×1210×1600毫米
导轨
防错位交叉轨道
三轴伺服电机
交流伺服电机
三轴滾珠螺桿
研磨及滾珠螺桿
三轴光学系統
0.1um解析度,玻璃光学
运动控制系統
三轴光学統計、XYZ轴自動、三轴手動脈衝調節
气浮減震系统
被動式精密氣浮減震器
光路系統
NIKON LV150 光路系統
轮廓光/表面光
表面光:鹵素光源
數顯系統
三轴数位显示表
XY軸精度
2.0um+长/250mm
Z軸精度
3.0um+长/150mm
Z軸移動/聚焦
0.1um 最小移動量
XY軸移動
线性摇杆 + 手动脈衝轮
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